国内外关于ITO废靶材的资源化利用和无害化处置技术的相关研究较多,主要可分为湿法、火法以及火湿法联合三大类。湿法类主要的提取方式为盐酸浸出,浸出液经氧化法或使用铝粉、锌粉等分离铟锡后再置换得到粗铟,该方法的缺点是铟锡分离率低,氧化锡渣等中含铟约1%~2%,铟直收率﹤97%。
还有学者采用萃取法对废液晶屏中铟锡等进行分离和回收,仅停留在试验室阶段,未能实现产业化。火法类主要的提取方式为氢气还原废靶粉得到铟锡合金,合金再经真空蒸馏分离得到粗铟和粗锡,该方法同样存在铟锡分离不彻底的问题,粗锡中含铟高达1%以上,铟直收率﹤98%。
ITO靶材可应用于以下领域:(1)平板显示器(FPD)产业,如薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)、液晶显示器(LCD)、高触摸屏(TouchPanel)、等离子管显示器(PDP)、有机电致发光显示(OLED)等;(2)光伏产业,如薄膜太阳能电池;功能性玻璃,如红外线反射玻璃、抗紫外线玻璃如幕墙玻璃、飞机、汽车上的防雾挡风玻璃、光罩和玻璃型磁盘等。其中,平板显示器及太阳能电池是其主要应用领域。
中国已经是世界的ITO靶材需求国,在全球的比重将从2016年的40%提高到2019年的49%,则中国对ITO靶材的需求量从2016年的542吨增长到2019年的823吨。