四氢化锗（Germane），也称为锗烷，是一种化学试剂、可用于制取高纯度锗。分子式为GeH4，分子量为76.63。甲锗烷在较高温度下时分解为锗和氢气。这种对热不稳定性被用于半导体工业中，即有机金属化学气相沉积（MOVPE）。由于甲锗烷毒性较大，某些有机锗化合物（如异丁基锗）可以替代甲锗烷，应用于MOVPE中。
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四氢化锗（Germane），也称为锗烷，是一种化学试剂、可用于制取高纯度锗。分子式为GeH4，分子量为76.63。甲锗烷在较高温度下时分解为锗和氢气。这种对热不稳定性被用于半导体工业中，即有机金属化学气相沉积（MOVPE）。由于甲锗烷毒性较大，某些有机锗化合物（如异丁基锗）可以替代甲锗烷，应用于MOVPE中。
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