实现洁净度要求的通风措施
洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施 [1] :
(1) 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用或亚过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
(2) 根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。
(3) 有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。
(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
洁净室气流组织考虑原则
(1) 当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。
(2) 减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。
(3) 为了防止灰尘的二次飞扬,气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
(4) 工作区的气流应均匀,流速必须满足工艺和卫生的要求;洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来,使污染物在扩散之前便流向回风口。
(5) 工作设备布置时要留有一定的间隔,为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
(6) 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时,宜将其置于工作区气流的上风侧,以提高室内的空气洁净度。
(7) 洁净室内有通风柜时,宜置于工作区气流的下风侧,以减少对室内的污染。 [2]
洁净室服装包括靴子,鞋子,围裙,胡须套,蓬松帽,工作服,面罩,连衣裙/实验室外套,礼服,手套和手指套,发网,头套,袖子和鞋套。使用的洁净室服装类型应反映洁净室和产品规格。低级洁净室可能只需要特殊的鞋子,鞋底完全光滑,不会跟踪灰尘或污垢。但是,鞋底不得产生滑倒危险,因为总是优先考虑。进入洁净室通常需要洁净室服。10,000级洁净室可以使用简单的罩衫,头套和短靴。对于10级洁净室,需要小心的长袍穿着程序,并配有拉链盖,靴子,手套和完整的呼吸器外壳。
过滤器
过滤器的基本知识
过滤器是洁净室的主要净化设备,是空气净化的主要手段。因此,对于从事洁净室设计、建造和维护管理人员了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。
1.过滤器的分类
按过滤器的性能(效率、阻力、容尘量)来划分,通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚、(HEPA)和超(ULPA)六类过滤器。
我国国家标准《空气过滤器》GB/T14295-93中将不同过滤器的效率和阻力规定如下:
国家标准《空气过滤器》GB13554-92中规定将过滤器按性能划分为A、B、C、D四类。D类又通称为超过滤器(或称为0.1μm过滤器或超低透过率过滤器)。